潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有潔凈室，零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳阮悇e。

潔凈室是指將空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、等之污染物除去，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例，無塵凈化主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂沒有一點灰塵，而是控制在一個單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上。

如表所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了標(biāo)準(zhǔn)。應(yīng)用在芯片生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)。